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S49 33/MT高低壓氣體質量流量計

簡要描述：

S49 33/MT高低壓氣體質量流量計,質量流量控制器
高/低耐壓可選
Z大量程30L/min
流量規格：（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min
響應時間：≤8 s（T95）
準確度：± 1.0% F.S

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S49 33/MT高低壓氣體質量流量計,質量流量控制器

S49 33/MT高低壓氣體質量流量計,質量流量控制器技術指標

編號	項目	S49 33/MT
1	流量規格	(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min		(15,20,30) L/min
2	調節閥類型	電磁調節閥
3	調節閥靜止位置	常閉
4	準確度	± 1.0% F.S	± 2.0% F.S
5	線性	±1.0 % F.S，±2.0 % F.S
6	重復精度	±0.2 %F.S
7	響應時間	≤8 s（T95）
8	工作壓差范圍	(50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa
9	耐壓	3 MPa ﹑ 10 MPa
10	工作環境溫度	5℃ ～ 45℃
11	材料	不銹鋼316L
12	標準密封材料	Viton®﹑EPDM, 或其他
13	漏率	1×10^-8 Pa.m³/s
14	接頭	Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其它
15	輸入輸出信號	0 V ～ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
16	電源	+15 V 50 mA -15V 200 mA
17	外形尺寸 mm	134×134×38
18	重量 kg	1.2

,質量流量控制器安裝尺寸圖

S49 33/MT連接線